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Dans une enceinte confinée, sous vide partiel ou à pression atmosphérique, dans laquelle on injecte un gaz plasmagène, on peut générer un plasma en transférant de l’énergie à ce gaz par l’action d’une décharge électrique. |
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Une décharge, c’est une conversion rapide de l’énergie électrique en énergie cinétique, puis en énergie d’excitation et d’ionisation des atomes et des molécules. |
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L’énergie électrique apportée au système est en partie convertie par les particules chargées ainsi formées (électrons, ions), en énergie cinétique. Du fait de leur faible masse, les électrons libres récupèrent en général l’essentiel de cette énergie et provoquent, par collision avec les particules lourdes du gaz, leur excitation ou dissociation et donc l’entretien de l’ionisation. |
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| La décharge électrique s'obtient de diverses manières : |
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soit par un système avec électrodes sous un champ électrique important. Il s’agit des décharges en courant continu (décharges luminescentes et décharges couronnes). |
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soit par un système sans électrodes sous un champ électromagnétique variable de type basses fréquences, radiofréquences (à couplage capacitif ou inductif) ou micro-ondes. |
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Si la décharge alimentée en continu ou en radiofréquences est accompagnée d’un champ magnétique, on a une décharge de type magnétron.
La présence d’un champ magnétique intense dans un champ électromagnétique micro-ondes conduit à un processus d’excitation du plasma à la résonance cyclotronique électronique (ECR). |
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